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日本ATA渦輪多涂機 AT-901的特點及使用案例分析
日本ATA渦輪多涂機 AT-901的特點及使用案例分析
特征
可實現高倍率觀察所需的Cr（粉末）飛濺。
特殊的快門功能可抑制對樣品的熱損傷。
排氣泵內外無油污。
<選項>
碳涂層附件（選項）可形成碳膜
等離子清洗（主機選項）可去除有機異物和表面演化處理。
規格
| 濺射 法 | 直流磁控濺射 放電電壓：DC 1500V max 放電電流：DC 50mA max |
| 目標（單獨出售） | 有多種靶材可供選擇，例如 Cr、Pt、Au、Au-Pd |
| 使用的氣體 | 空氣，氬 |
| 達到真空壓力 | 十 |
| 腔室尺寸 | φ100mm |
| 樣品架 | φ50毫米 |
| 真空排氣 | 主排氣：渦輪微型泵（內置于主體） 輔助排氣：隔膜泵（外置） |
| 尺寸 | 主機 360W x 417D x 380H |
| 重量 | 機身約 20kg 隔膜泵 4kg |
| 電源供應 | AC 100V / 200V（工廠選擇） 5A 15A（碳編碼附件單獨出售） |
涂層示例
◆ 不平整樣品的圖像（濾紙表面）（SEM圖像）
放大倍率 x 5,000 倍
放大倍率 x 5,000 倍
載玻片涂層樣品
◆ 涂膜顆粒度差異示例（AFM 圖像）
◆ 碳薄膜的TEM觀察圖像
在玻璃基板上蒸鍍碳，觀察因真空度的不同而產生的蒸鍍狀態的差異（TEM圖像）。
至于碳氣相沉積的狀態，可以看出在0.02Pa氣氛中的顆粒比在2Pa氣氛中更細。
（放大倍數為 200,000 倍）
真空度 = 2Pa（我們的較低型號）
真空度=0.02Pa（本裝置）
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