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產品資料
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日本shibaura電機直聯式油旋轉真空泵

產品名稱: 日本shibaura電機直聯式油旋轉真空泵
產品型號: DRP系列
產品特點: 日本shibaura電機直聯式油旋轉真空泵
DRP系列的特點
兩段式,極限壓力低
采用電機直接連接方式,結構緊湊,輕便,粉塵少,可以保持清潔的環境。
低振動和低噪音
維修方便
強大的氣鎮閥(蒸汽處理閥)可抵抗蒸汽和可冷凝氣體的排放

日本shibaura電機直聯式油旋轉真空泵 的詳細介紹

日本shibaura電機直聯式油旋轉真空泵

 

使用例

  • 濺射設備
  • 氣相沉積設備
  • 各種等離子設備
  • 真空爐
  • 各種真空測試設備

DRP系列陣容

模型單元DRP-180YⅡDRP-360YⅡDRP-360Ⅲ
施工包括轉子葉片式兩級
氣鎮閥
設計抽速50 Hz,L /分鐘150300300
60 Hz,L /分鐘180360360
極限壓力2.7×10 -2(* 2)2.7×10 -2(* 2)6.7×10 -2(* 2)
所需馬達ACV,相,kW200、3、0.4(* 3)200、3、0.75(* 3)(* 4)200、3、0.73(* 3)(* 5)
錄取 NW25(* 6)NW25(* 6)NW25(* 6)
排氣口 PS1PS1PS1
用油 TSR-1200TSR-1200TSR-1200
油量大號0.81.21.5
尺寸(* 1)寬x深x高(毫米)261 x 494.5 x 209261 x 572 x 172260 x 503 x 176
質量(* 1)公斤273834
水處理量升/小時0.20.40.4
噪聲50 Hz,分貝(A)606158
60 Hz,分貝(A)636461
振動 振幅0.05mm以下
冷卻方式 強制冷卻(風冷)
     
模型單元DRP-800DRP-1500 
施工包括轉子葉片式兩級
氣鎮閥
 
設計抽速50 Hz,L /分鐘7001,250 
60 Hz,L /分鐘8401,500 
極限壓力6.7×10 -2(* 2)6.7×10 -2(* 2) 
所需馬達ACV,相,kW200、3、1.5(* 3)(* 4)200、3、2.2(* 3)(* 4) 
錄取 VG50VG50 
排氣口 PS1 1/2PS2 
用油 TSR-1200TSR-1200 
油量大號2.33.5 
尺寸(* 1)寬x深x高(毫米)441 x 608 x 237496 x 721.5 x 253 
質量(* 1)公斤6796.5 
水處理量升/小時0.81.5 
噪聲50Hz,分貝(A)6373 
60Hz,分貝(A)6776 
振動 振幅0.05mm以下 
冷卻方式 強制冷卻(風冷) 

* 1表示包括底座,電機等在內的設定值。
* 2用MacLeod真空計測量
* 3全
封閉式風扇電機* 4 IE3規格
* 5 CE規格(相當于IE1)
* 6可選

  • [DRP-180YII]真空保持型

    [DRP-180YII]真空保持型

    外型尺寸

  • [DRP-360YII]真空保持型

    [DRP-360YII]真空保持型

    電機符合相關法規(IE3)

    外型尺寸

  • [DRP-360Ⅲ]自動泄漏型

    [DRP-360Ⅲ]自動泄漏型

    CE規格電機(IE1)

    外型尺寸

  • [DRP-800]

    [DRP-800]

    電機符合鼎級法規(IE3)

    外型尺寸

  • [DRP-1500]

    [DRP-1500]

    電機符合相關法規(IE3)

    外型尺寸

*規格和建議零售價如有變更,恕不另行通知。

預防措施

  • 我們的油旋轉真空泵是根據以下用途設計和制造的。
    (1)吸入氣體的種類空氣和惰性氣體(N 2,CO 2,He,Ne,Ar,Xe,Rn ? ? ?)
    (2)吸入氣體的溫度5-40 ℃ 
    (3)環境溫度5? 40°C 
    (4)常壓泵壓約1.3×10 2 Pa以下
    (5)其他真空和大氣重復的頻率低。切勿吸入水等液體。
      *如果條件與上述條件不同,請與我們聯系。
  • 請注意,如果將標準規格的真空泵用于以下目的,將會縮短其使用壽命。
    (1)腐蝕性氣體(Cl 2,CCl 4,CF 4,BBr 3,HBr···)
      [示例] 
        即使在特殊規格的真空泵中,也進行離子注入,蝕刻,CVD等操作,易燃,易揮發請勿吸入該物質。
    (2)排放大量水蒸氣,化學物質,溶劑,粉末等。
    (3)工作壓力為1.3 kPa以上時。
    (4)真空和大氣的頻率高時。
    (5)請勿吸入氨氣。

 日本shibaura電機直聯式油旋轉真空泵

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