產品資料
日本napson平板電阻薄層電阻測量半自動裝置
產品名稱: 日本napson平板電阻薄層電阻測量半自動裝置
產品型號: RG-100PV
產品特點: 日本napson平板電阻薄層電阻測量半自動裝置玻璃基板上薄膜的四探針法半自動測量儀XY軸機構臺平面內多點測量配備了均勻螺距或隨機螺距設置選擇以及2-D ??/ 3-D映射軟件。
日本napson平板電阻薄層電阻測量半自動裝置 的詳細介紹
日本napson平板電阻薄層電阻測量半自動裝置
測量規格
測量目標
- 與半導體/太陽能電池相關的材料（硅，多晶硅，SiC等）
- 新材料/功能材料（碳納米管，DLC，石墨烯，銀納米線等）
- 導電薄膜相關（金屬，ITO等）
- 擴散樣品硅基薄膜（LTPS等），IGZO
- 硅基外延離子注入樣品
- 與化合物半導體有關的（GaAs，Epi，GaN，Epi，InP，Ga等）
- 其他（*請與我們聯系）
測量尺寸
大300 x 300毫米（選件;大500 x 500毫米）
測量范圍
[電阻（比電阻）] 1m至200Ω·cm
[片電阻] 1m至1,000kΩ/ sq（選件；?10MΩ/ sq）
測量規格
測量目標
- 與半導體/太陽能電池相關的材料（硅，多晶硅，SiC等）
- 新材料/功能材料（碳納米管，DLC，石墨烯，銀納米線等）
- 導電薄膜相關（金屬，ITO等）
- 擴散樣品硅基薄膜（LTPS等），IGZO
- 硅基外延離子注入樣品
- 與化合物半導體有關的（GaAs，Epi，GaN，Epi，InP，Ga等）
- 其他（*請與我們聯系）
測量尺寸
大300 x 300毫米（選件;大500 x 500毫米）
測量范圍
[電阻（比電阻）] 1m至200Ω·cm
[片電阻] 1m至1,000kΩ/ sq（選件；?10MΩ/ sq）
映射圖像
![半自動類型<br />（多點測量系統[包括軟件+ PC]）](https://www.napson.co.jp/wp/wp-content/uploads/2014/08/2D%E8%A7%92%E5%9E%8B%E3%83%9E%E3%83%83%E3%83%94%E3%83%B3%E3%82%B02.jpg)
![半自動類型<br />（多點測量系統[包括軟件+ PC]）](https://www.napson.co.jp/wp/wp-content/uploads/2014/08/3D%E8%A7%92%E5%9E%8B%E3%83%9E%E3%83%83%E3%83%94%E3%83%B3%E3%82%B02-640x561.jpg)
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