全自動半導(dǎo)體用低阻電阻率測定計

全自動半導(dǎo)體用低阻電阻率測定計

高精度測量

• 四探針測試原理：基于四探針測試原理，可以準(zhǔn)確而快速地測試材料的低電阻特性。這種測試原理可以有效消除探頭接觸樣品的接觸電阻及導(dǎo)線的電阻，從而提高測量精度。

• 寬測量范圍：量程范圍擴(kuò)大至0.001×10??~9.999×10?Ω，能夠滿足從超低電阻到較高電阻的多種測量需求。
• 多種測試單位：直讀電阻（Ω）、表面電阻（Ω/□）、體積電阻（Ω·cm）、電導(dǎo)率（S/cm），可根據(jù)不同需求選擇合適的測試單位。

智能操作界面

• 7.5英寸TFT觸摸屏：配備7.5英寸真彩色640×480 TFT-LCD觸摸屏操作界面，操作更加方便快捷。
• 自動測試功能：新增加一鍵自動測試功能，測試完畢后自動停止并保持測試值。此外，還設(shè)有定時模式（Timer Model）和自動保持模式（Auto-hold），可根據(jù)需要設(shè)定測試樣品的時間。

多功能性

• 多種測試模式：除了基本的電阻測量模式外，還增加了硅晶體測試模式，能夠滿足不同材料的測試需求。
• 自動計算糾正因子（RCF）：可根據(jù)輸入的樣品尺寸、厚度、探頭放置在樣品上的相對坐標(biāo)值及選用探頭型號，儀器內(nèi)部程序自行計算并顯示每個測試點的糾正因子（RCF）值，并直接顯示相應(yīng)的單位測試值。
• 數(shù)據(jù)存儲與傳輸：儀器本地內(nèi)存可存儲2000組數(shù)據(jù)，并可通過USB口轉(zhuǎn)出存儲的測試數(shù)據(jù)。

適應(yīng)性強(qiáng)

• 可更換多種探頭：可選配多種MCP系列探頭，適應(yīng)測試不同大小及不同材料的測試對象。
• 測試電流極性可轉(zhuǎn)換：測試電流施加的極性可轉(zhuǎn)換，使測試更加準(zhǔn)確。

應(yīng)用廣泛

• 寬測量范圍：量程范圍擴(kuò)大至0.001×10??~9.999×10?Ω，能夠滿足從超低電阻到較高電阻的多種測量需求。
• 多種測試單位：直讀電阻（Ω）、表面電阻（Ω/□）、體積電阻（Ω·cm）、電導(dǎo)率（S/cm），可根據(jù)不同需求選擇合適的測試單位

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智能操作界面

• 7.5英寸TFT觸摸屏：配備7.5英寸真彩色640×480 TFT-LCD觸摸屏操作界面，操作更加方便快捷

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• 自動測試功能：新增加一鍵自動測試功能，測試完畢后自動停止并保持測試值。此外，還設(shè)有定時模式（Timer Model）和自動保持模式（Auto-hold），可根據(jù)需要設(shè)定測試樣品的時間。

多功能性

• 多種測試模式：除了基本的電阻測量模式外，還增加了硅晶體測試模式，能夠滿足不同材料的測試需求。
• 自動計算糾正因子（RCF）：可根據(jù)輸入的樣品尺寸、厚度、探頭放置在樣品上的相對坐標(biāo)值及選用探頭型號，儀器內(nèi)部程序自行計算并顯示每個測試點的糾正因子（RCF）值，并直接顯示相應(yīng)的單位測試值

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• 數(shù)據(jù)存儲與傳輸：儀器本地內(nèi)存可存儲2000組數(shù)據(jù)，并可通過USB口轉(zhuǎn)出存儲的測試數(shù)據(jù)

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適應(yīng)性強(qiáng)

• 可更換多種探頭：可選配多種MCP系列探頭，適應(yīng)測試不同大小及不同材料的測試對象

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• 測試電流極性可轉(zhuǎn)換：測試電流施加的極性可轉(zhuǎn)換，使測試更加準(zhǔn)確

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應(yīng)用廣泛