亚洲加勒比久久88色综合丨99热播精品丨一道日本中文版高清视频丨久久国产网站丨我爱avav色av爱avav亚洲丨久久国产综合精品swag蓝导航丨国产中文字幕在线视频丨出租屋勾搭老熟妇啪啪丨黄色长视频丨国内自拍小视频丨乱码一卡2卡3卡4卡精品丨精品夜夜澡人妻无码av丨亚洲va中文字幕无码久久丨一级片大片丨狠狠狠色丁香婷婷综合久久88丨思九九爱九九丨a黄色片网站丨欧美一卡2卡三卡4卡乱码免费丨亚洲毛片大全丨天堂а在线最新版在线丨蜜色视频丨一区二区三区四区在线丨未成满18禁止免费无码网站丨狠狠色伊人亚洲综合第8页丨国产欧美国日产在线播放

產品資料
首頁 >>> 產品中心 >>> 儀器儀表 >>> 泵類 >>> UTM-1400FW數字磁懸浮高抽速排氣大流量復合渦輪分子泵

數字磁懸浮高抽速排氣大流量復合渦輪分子泵

產品名稱: 數字磁懸浮高抽速排氣大流量復合渦輪分子泵
產品型號: UTM-1400FW
產品特點: 數字磁懸浮高抽速排氣大流量復合渦輪分子泵
日本 ULVAC 愛發科 UTM-1400FW 屬于「UTM-FW 系列」數字磁懸浮型復合渦輪分子泵,主打“大流量+寬量程“排氣,定位在中-高負荷工藝(干法刻蝕、CVD、磁控濺射等)主抽或對輕-重混合氣體做高抽速排氣。
額定抽速(N?):1490 L/s(VG250 法蘭,

數字磁懸浮高抽速排氣大流量復合渦輪分子泵 的詳細介紹

數字磁懸浮高抽速排氣大流量復合渦輪分子泵

數字磁懸浮高抽速排氣大流量復合渦輪分子泵

日本 ULVAC 愛發科 UTM-1400FW 屬于「UTM-FW 系列」數字磁懸浮型復合渦輪分子泵,主打"大流量+寬量程"排氣,定位在中-高負荷工藝(干法刻蝕、CVD、磁控濺射等)主抽或對輕-重混合氣體做高抽速排氣。綜合各道 2025 年仍在發布的規格表,可歸納如下核心信息:

一、主要性能參數

  • 額定抽速(N?):1490 L/s(VG250 法蘭,無保護網)
  • 極限壓力:<10?? Pa(配推薦前級泵,23 ℃空載)
  • 最大允許前級背壓:約 80 Pa(FW 系列設計背壓高于傳統機型,可配更小前級泵)
  • 壓縮比:N?>1×101?,H?≈ 2×10?
  • 可變速范圍:25 % – 100 %(數字控制,自動跟蹤負載)
  • 冷卻方式:水冷(內置水道,水流量 2 L/min,25 ℃)
  • 允許全方向安裝,不受磁懸浮軸承角度限制

二、結構與技術特點

  1. 五軸主動磁浮軸承
    • 轉子 100 % 無接觸、無油、無脂,理論上免維護 10 萬小時
    • 自帶斷電再生發電(Back-EMF)功能,停電時利用轉子動能供電,維持懸浮至安全停機,無需更換電池
  2. 復合級段設計
    • 上部多段軸流渦輪+下部 Holweck/螺紋牽引級,兼顧高壓縮比與大通量
    • 內表面可選 Ni-P+DLC、陽極氧化或特殊陶瓷涂層,提高抗鹵素/含氟工藝腐蝕能力(訂貨代碼 -HC)
  3. 數字控制 & 診斷
    • RS-485/UL-NET 接口,可遠程讀取轉速、電流、振動、溫度等 10 余項實時數據
日本 ULVAC 愛發科 UTM-1400FW 屬于「UTM-FW 系列」數字磁懸浮型復合渦輪分子泵,主打"大流量+寬量程"排氣,定位在中-高負荷工藝(干法刻蝕、CVD、磁控濺射等)主抽或對輕-重混合氣體做高抽速排氣。綜合各渠道 2025 年仍在發布的規格表,可歸納如下核心信息:

一、主要性能參數

  • 額定抽速(N?):1490 L/s(VG250 法蘭,無保護網)
  • 極限壓力:<10?? Pa(配推薦前級泵,23 ℃空載)
  • 最大允許前級背壓:約 80 Pa(FW 系列設計背壓高于傳統機型,可配更小前級泵)
  • 壓縮比:N?>1×101?,H?≈ 2×10?
  • 可變速范圍:25 % – 100 %(數字控制,自動跟蹤負載)
  • 冷卻方式:水冷(內置水道,水流量 2 L/min,25 ℃)
  • 允許全方向安裝,不受磁懸浮軸承角度限制

二、結構與技術特點

  1. 五軸主動磁浮軸承
    • 轉子 100 % 無接觸、無油、無脂,理論上免維護 10 萬小時
    • 自帶斷電再生發電(Back-EMF)功能,停電時利用轉子動能供電,維持懸浮至安全停機,無需更換電池
  2. 復合級段設計
    • 上部多段軸流渦輪+下部 Holweck/螺紋牽引級,兼顧高壓縮比與大通量
    • 內表面可選 Ni-P+DLC、陽極氧化或特殊陶瓷涂層,提高抗鹵素/含氟工藝腐蝕能力(訂貨代碼 -HC)
  3. 數字控制 & 診斷
    • RS-485/UL-NET 接口,可遠程讀取轉速、電流、振動、溫度等 10 余項實時數據


產品留言

留言框

  • 產品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7

深圳市秋山貿易有限公司版權所有 地址:深圳市龍崗區龍崗街道新生社區新旺路和健云谷2棟B座1002

13823147203
13823147203
在線客服
手機
13823147203

微信同號