腐蝕性氣體粉塵工況設計螺桿式干真空泵

腐蝕性氣體粉塵工況設計螺桿式干真空泵

1. 耐腐蝕構造
   轉子軸與缸體內壁采用特殊涂層（氟系或陶瓷復合層），可長期耐受 NMP、HF 等腐蝕性溶劑及鋰鹽副產物，壽命測試 >20 000 h。
2. 高排粉能力
   螺桿型線經過 ULVAC 優化，轉子間保持微小間隙但無接觸，可將干燥段脫落的活性材料粉末連續排出，避免泵內堆積卡死；實測粉塵濃度 5 g/m3 仍可穩定運行。
3. 寬壓區連續工作
   從大氣壓到極限壓力 1 Pa 均可連續運轉，無需切換旁路；排氣溫度 ≤80 ℃，減少 NMP 蒸氣在泵內冷凝，降低腐蝕與油泥風險。
4. 干式無油
   工作腔無需潤滑油，可獲得潔凈真空，避免電解液被油污染，同時省去廢油處理成本，符合鋰電池車間的潔凈等級要求 。
5. 典型機型與參數
• MS120A：抽速 120 m3/h，功率 2.4 kW，入口 NW40
• MS600A：抽速 600 m3/h，功率 7.5 kW，入口 NW50
• MS1200A：抽速 1200 m3/h，功率 15 kW，入口 NW63
  全系空冷，可落地或機架安裝，重量 65–180 kg。
6. 鋰電池應用位置
• 電極干燥線：與烘箱組合，快速抽走 NMP 蒸氣并保持 10–100 Pa 真空度，縮短干燥時間 15–20 %；
• 真空注液腔：為注液機提供 50 Pa 級潔凈真空，幫助電解液快速滲透極片微孔，減少氣泡殘留；
• 脫氣塔/靜置艙：連續抽出逸出的 CO、HF 等副產氣體，維持微負壓 1–10 kPa，保障車間安全。
7. 維護與壽命
   涂層螺桿平均大修間隔 ≥3 年，日常僅需更換齒輪箱潤滑脂（每 6 000 h）；泵腔可 120 ℃ 熱水/酒精沖洗，快速切換批次。

1. 耐腐蝕構造
   轉子軸與缸體內壁采用特殊涂層（氟系或陶瓷復合層），可長期耐受 NMP、HF 等腐蝕性溶劑及鋰鹽副產物，方壽命測試 >20 000 h

   。
2. 高排粉能力
   螺桿型線經過 ULVAC 家優化，轉子間保持微小間隙但無接觸，可將干燥段脫落的活性材料粉末連續排出，避免泵內堆積卡死；實測粉塵濃度 5 g/m3 仍可穩定運行

   。
3. 寬壓區連續工作
   從大氣壓到極限壓力 1 Pa 均可連續運轉，無需切換旁路；排氣溫度 ≤80 ℃，減少 NMP 蒸氣在泵內冷凝，降低腐蝕與油泥風險

   。
4. 干式無油
   工作腔無需潤滑油，可獲得潔凈真空，避免電解液被油污染，同時省去廢油處理成本，符合鋰電池車間的潔凈等級要求 。
5. 典型機型與參數
• MS120A：抽速 120 m3/h，功率 2.4 kW，入口 NW40
• MS600A：抽速 600 m3/h，功率 7.5 kW，入口 NW50
• MS1200A：抽速 1200 m3/h，功率 15 kW，入口 NW63
  全系空冷，可落地或機架安裝，重量 65–180 kg

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6. 鋰電池應用位置
• 電極干燥線：與烘箱組合，快速抽走 NMP 蒸氣并保持 10–100 Pa 真空度，縮短干燥時間 15–20 %

  ；
• 真空注液腔：為注液機提供 50 Pa 級潔凈真空，幫助電解液快速滲透極片微孔，減少氣泡殘留；
• 脫氣塔/靜置艙：連續抽出逸出的 CO、HF 等副產氣體，維持微負壓 1–10 kPa，保障車間安全

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7. 維護與壽命
   涂層螺桿平均大修間隔 ≥3 年，日常僅需更換齒輪箱潤滑脂（每 6 000 h）；泵腔可 120 ℃ 熱水/酒精沖洗，快速切換批次

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