產品資料
桌面型高純半導體氣體測量酸素分析計
產品名稱: 桌面型高純半導體氣體測量酸素分析計
產品型號: CRDS
產品特點: 桌面型高純半導體氣體測量酸素分析計高純半導體氣體測量專用 · 腔衰蕩光譜（CRDS）· 真空 ≤ 1×10?? Pa0.01 – 100 ppm O? · ±0.01 ppm · 0.1 s 響應 · 5 年壽命 · 即插即用
桌面型高純半導體氣體測量酸素分析計 的詳細介紹
桌面型高純半導體氣體測量酸素分析計
桌面型高純半導體氣體測量酸素分析計
高純半導體氣體測量專用 · 腔衰蕩光譜（CRDS）· 真空 ≤ 1×10?? Pa
0.01 – 100 ppm O? · ±0.01 ppm · 0.1 s 響應 · 5 年壽命 · 即插即用
一、產品定位
- 高純半導體氣體測量：H?、N?、Ar、He、NH?、有機溶劑蒸氣中的 O? 殘量
- 桌面型 CRDS：腔衰蕩光譜，真空 ≤ 1×10?? Pa，Class 100 兼容
- 酸素（氧氣）分析：0.01 – 100 ppm，±0.01 ppm，0.1 s 響應
- 桌面型：底面積 A4，2.1 kg，即插即用，5 年壽命
二、核心技術參數（CRDS 型）
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 原理 | 腔衰蕩光譜（CRDS） |
| 檢測氣體 | 氧氣（O?） |
| 測量范圍 | 0.01 – 100 ppm（全范圍） |
| 精度 | ±0.01 ppm（±0.01 ppm，CRDS） |
| 分辨率 | 0.001 ppm（0.001 ppm，16 bit） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 大氣版 | 可選（內置泵） |
| 響應時間 | 0.1 s（0.1 s，CRDS） |
| 真空接口 | NW16（可轉 NW25/NW40） |
| 電源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm，2.1 kg |
| 壽命 | 5 年（CRDS 腔 + 激光器） |
三、功能亮點
- 0.01 – 100 ppm 全范圍：CRDS 腔衰蕩，全范圍精度 ±0.01 ppm
- ±0.01 ppm 超高精度：0.001 ppm 分辨率，O? 殘量微變實時捕捉
- ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安裝，無泄漏
- 0.1 s 高速響應：0.1 s 高速響應，適合快速 O? 變化
- 2.1 kg 超輕：A5 底面積，可手提移動，通風櫥內即用
- 5 年壽命：CRDS 腔 + 激光器，5 年免維護
四、典型應用系統
半導體高純氣體 O? 分析┌─ 高純氣體管道 ─┐│ │O?← CRDS ← 真空饋通 NW16│ │└─ PLC/DCS ──────┘- 高純 N? 中 O? 0.1 ppm，0.1 s 響應，±0.01 ppm 精度
- RS-485 實時輸出，PLC 閉環控制
五、實測數據（半導體驗證）
- 氣體：高純 N?，O? 0.1 ppm，25 ℃
- CRDS 型：
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