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產品資料
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應用于半導體晶圓清洗后去水熱風旋轉干燥機

產品名稱: 應用于半導體晶圓清洗后去水熱風旋轉干燥機
產品型號: OKH -系列
產品特點: 應用于半導體晶圓清洗后去水熱風旋轉干燥機
日本 OKK（大宮工業）OKH-系列是一款公轉式（軌道旋轉）旋轉干燥機，專為半導體晶圓、精密基板的高速甩干、去水、熱風干工藝設計，廣泛應用于晶圓清洗后干燥、顯影后干燥、CMP 后清洗干燥等工序。
? 核心賣點
公轉式旋轉：晶圓自轉 + 公轉雙重運動，無中心水滴殘留，干燥均勻性 ≤ 1 mm 水滴直徑
高潔凈設計：ISO Class 5（100 級）兼容，不

應用于半導體晶圓清洗后去水熱風旋轉干燥機 的詳細介紹

應用于半導體晶圓清洗后去水熱風旋轉干燥機

應用于半導體晶圓清洗后去水熱風旋轉干燥機

日本 OKK（大宮工業）OKH-系列是一款公轉式（軌道旋轉）旋轉干燥機，專為半導體晶圓、精密基板的高速甩干、去水、熱風干工藝設計，廣泛應用于晶圓清洗后干燥、顯影后干燥、CMP 后清洗干燥等工序。

? 核心賣點

  • 公轉式旋轉：晶圓自轉 + 公轉雙重運動，無中心水滴殘留，干燥均勻性 ≤ 1 mm 水滴直徑
  • 高潔凈設計：ISO Class 5（100 級）兼容，不銹鋼鏡面 + 氟樹脂涂層，無顆粒、無金屬污染
  • 高速旋轉：最高 3,000 rpm（可調），G-Force 1,200 × g，干燥時間 ≤ 15 秒/片
  • 熱風干 + N?  purge：內置 HEPA + 加熱器（室溫~120 °C），可切換 N?，防止氧化/水痕
  • 多尺寸兼容：2~8 英寸（50 mm – 200 mm）晶圓，無需更換夾具，一鍵切換
  • 顆粒控制：< 10 pcs @ 0.2 µm（激光粒子計數器驗證），滿足 7 nm 節點要求

?? 技術參數（OKH-800 為例）

表格
復制
項目參數
旋轉方式公轉 + 自轉（行星式）
最大轉速3,000 rpm（變頻調速）
旋轉加速度1.2 秒升至 3,000 rpm
干燥時間5 – 15 s（可調）
晶圓尺寸2″ 3″ 4″ 5″ 6″ 8″（通用夾具）
潔凈等級ISO 5（100 級）
干燥溫度室溫 – 120 °C（PID 控制 ±1 °C）
氣體潔凈空氣或 N?（切換閥）
過濾HEPA 0.1 µm，效率 ≥ 99.995 %
材質304 不銹鋼 + 氟樹脂涂層
電源AC 200 V 三相 50/60 Hz，1.2 kW
尺寸/重量600 × 600 × 1,200 mm，≈85 kg
控制7 寸觸控 + PLC，可存 50 組 recipe
數據輸出RS-485（Modbus RTU） + 以太網

?? 機型一覽

表格
復制
型號最大片徑轉速備注
OKH-5004 英寸2,000 rpm實驗室桌面型
OKH-8008 英寸3,000 rpm產線主力型
OKH-120012 英寸（300 mm）2,500 rpm450 mm 晶圓預備

?? 典型工藝

  • RCA 清洗后干燥：旋轉 + 熱 N?，無水痕、無顆粒再附著
  • 顯影后干燥：低轉速 500 rpm + 常溫 N?，防止圖案坍塌
  • CMP 后清洗干燥：高速 2,500 rpm + 80 °C 熱風，去除殘留漿料
  • SOI 薄片干燥：公轉式支撐，無邊緣缺口、無裂紋

?? 選配功能

  • 靜電消除：內置離子棒，表面電位 < 50 V
  • 旋轉監測：實時反饋 rpm，偏差 > 1 % 報警
  • 化學液滴加：可升級 IPA 滴加系統，Marangoni 干燥
  • FFU 聯動：可與潔凈室 FFU 同步啟停，節能 30 %

?? 總結

OKK OKH-系列 = “公轉式晶圓甩干機"里的高速、高潔凈、多尺寸兼容方案，干燥時間 < 15 秒，顆粒增量 < 10 pcs (0.2 µm)，滿足7 nm 節點要求，是日本半導體產線（晶圓廠、封測廠）里常見的清洗后干燥標準機型。



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