半導體工藝高密封型真空調節結構壓力調整器

半導體工藝高密封型真空調節結構壓力調整器

品特點

• 專為半導體工藝設計：L96系列調壓閥是專為半導體工藝制造氣體設計的真空調節結構產品，特別適用于低蒸氣壓的氣體。
• 優良的密封性能：采用外部金屬密封和焊接接頭規格，具有優良的外部泄漏和顆粒性能，外部泄漏率低至1×10^-11 Pa?m3/s?He（真空法）。
• 寬廣的調整壓力范圍：調整壓力范圍為-0.1MPa至0.2MPa，能夠適應多種工藝需求。
• 高承受壓力：進口側承受壓力可達22.2MPa，確保在高壓環境下的穩定運行。
• 適配性強：工作溫度范圍為-10°C至+40°C，能夠適應不同的工作環境。

技術參數

• 入口壓力：0.99MPa以下
• 調整壓力：-0.1MPa～0～0.2MPa
• 承受壓力：22.2MPa（進口側）
• Cv值：0.07
• 工作溫度：-10°C至+40°C
• 外部泄漏：1×10^-11 Pa?m3/s?He（真空法）
• 內容量：5.739cm3（不包括3個壓力表和配件）
• 重量：約1.6kg
• 安裝方法：背面用螺絲安裝

品特點

• 專為半導體工藝設計：L96系列調壓閥是專為半導體工藝制造氣體設計的真空調節結構產品，特別適用于低蒸氣壓的氣體。
• 優良的密封性能：采用外部金屬密封和焊接接頭規格，具有優良的外部泄漏和顆粒性能，外部泄漏率低至1×10^-11 Pa?m3/s?He（真空法）。
• 寬廣的調整壓力范圍：調整壓力范圍為-0.1MPa至0.2MPa，能夠適應多種工藝需求。
• 高承受壓力：進口側承受壓力可達22.2MPa，確保在高壓環境下的穩定運行。
• 適配性強：工作溫度范圍為-10°C至+40°C，能夠適應不同的工作環境。

技術參數

• 入口壓力：0.99MPa以下
• 調整壓力：-0.1MPa～0～0.2MPa
• 承受壓力：22.2MPa（進口側）
• Cv值：0.07
• 工作溫度：-10°C至+40°C
• 外部泄漏：1×10^-11 Pa?m3/s?He（真空法）
• 內容量：5.739cm3（不包括3個壓力表和配件）
• 重量：約1.6kg
• 安裝方法：背面用螺絲安裝

品特點

• 專為半導體工藝設計：L96系列調壓閥是專為半導體工藝制造氣體設計的真空調節結構產品，特別適用于低蒸氣壓的氣體。
• 優良的密封性能：采用外部金屬密封和焊接接頭規格，具有優良的外部泄漏和顆粒性能，外部泄漏率低至1×10^-11 Pa?m3/s?He（真空法）。
• 寬廣的調整壓力范圍：調整壓力范圍為-0.1MPa至0.2MPa，能夠適應多種工藝需求。
• 高承受壓力：進口側承受壓力可達22.2MPa，確保在高壓環境下的穩定運行。
• 適配性強：工作溫度范圍為-10°C至+40°C，能夠適應不同的工作環境。

技術參數

• 入口壓力：0.99MPa以下
• 調整壓力：-0.1MPa～0～0.2MPa
• 承受壓力：22.2MPa（進口側）
• Cv值：0.07
• 工作溫度：-10°C至+40°C
• 外部泄漏：1×10^-11 Pa?m3/s?He（真空法）
• 內容量：5.739cm3（不包括3個壓力表和配件）
• 重量：約1.6kg
• 安裝方法：背面用螺絲安裝