產品資料
工業級大流量氣體質量流量調節計控制器
產品名稱: 工業級大流量氣體質量流量調節計控制器
產品型號: 6700系列
產品特點: 工業級大流量氣體質量流量調節計控制器日本 KOFLOC 6700 系列是專為“大流量、零泄漏"設計的工業級壓力調節器（Pressure Reducing Regulator），適用于 氣體質量流量計/控制器（MFC）入口穩壓、半導體吹掃、化工反應器、燃料電池測試臺 等需要 10–600 L/min 級別潔凈氣體 且 不允許任何旁通泄漏 的場合。
工業級大流量氣體質量流量調節計控制器 的詳細介紹
工業級大流量氣體質量流量調節計控制器
工業級大流量氣體質量流量調節計控制器
日本 KOFLOC 6700 系列是專為“大流量、零泄漏"設計的工業級壓力調節器（Pressure Reducing Regulator），適用于 氣體質量流量計/控制器（MFC）入口穩壓、半導體吹掃、化工反應器、燃料電池測試臺 等需要 10–600 L/min 級別潔凈氣體 且 不允許任何旁通泄漏 的場合。
? 系列定位
| 項目 | 說明 |
|---|---|
| 型 號 | 6700 系列（6701 / 6702 / 6703 / 6704） |
| 通 徑 | 1/4″、3/8″、1/2″、3/4″（對應 6701→6704） |
| 零泄漏 | 金屬波紋管 + 雙 O-ring，He 泄漏率 ≤ 1 × 10?? Pa·m3/s |
| 大流量 | Max 600 L/min（N?，入口 0.7 MPa，出口 0.2 MPa） |
| 用 途 | MFC 入口穩壓、半導體 purge、燃料電池臺、化工配氣 |
?? 主要規格
| 參數 | 6701 | 6702 | 6703 | 6704 |
|---|---|---|---|---|
| 端口尺寸 | RC1/4 | RC3/8 | RC1/2 | RC3/4 |
| 最大入口壓力 | 1.0 MPa | 1.0 MPa | 1.0 MPa | 1.0 MPa |
| 出口調壓范圍 | 0.01–0.4 MPa | 0.01–0.4 MPa | 0.01–0.4 MPa | 0.01–0.4 MPa |
| Cv 值 | 0.4 | 0.8 | 1.4 | 2.2 |
| 流量能力 | 100 L/min | 200 L/min | 400 L/min | 600 L/min |
| 閥座材料 | PCTFE（標準），可選 PFA、SUS316L | |||
| 波紋管 | SUS316L 焊接，彈性密封，無背漏 | |||
| 溫度范圍 | -10 – 70 ℃（可選高溫 120 ℃型） | |||
| 重量 | 0.7 kg | 0.9 kg | 1.3 kg | 1.8 kg |
?? 結構亮點
- 金屬波紋管平衡式
入口壓力波動自動補償，出口壓力變化 ≤ ±0.3 % F.S.（入口 0.3→0.7 MPa 階躍）。 - 雙密封零泄漏
波紋管 + FKM/FFKM O-ring，He 檢漏 ≤ 1 × 10?? Pa·m3/s，滿足 SEMI F70、ISO 15848-1 BH 級。 - 大 Cv 設計
閥座流道采用 CFD 優化，壓降比傳統 3000 系列降低 35 %，同等流量可選更小口徑。 - 潔凈級處理
全系列經 0.1 µm 過濾潔凈空氣吹掃 + 超聲波純水清洗，顆粒 ≤ 100 pcs/ft3 (@0.1 µm)。 - 面板/底板兩用
自帶 30 × 30 mm 方板，可嵌入 19″ 機架或管路在線安裝，無需額外支架。
?? 典型應用流程
| 系統 | 用法 | 效果 |
|---|---|---|
| 半導體 CVD | MFC 入口穩壓 0.15 MPa | 流量重復性 ↑ 0.5 % → 0.1 % |
| 燃料電池臺 | 陽極 H? 0.2 MPa 恒壓 | 防止膜入口壓力脈沖破裂 |
| 化工配氣 | 反應器 6 路大流量 N? 吹掃 | 6704 一路替代兩只傳統 R-700，節省空間 40 % |
| LPG 混合燃燒 | 0.3 MPa 減壓至 0.05 MPa | 零泄漏避免危險氣體滲入控制柜 |
??? 選型與選項
| 代碼 | 含義 |
|---|---|
| -HT | 高溫型 120 ℃，閥座 PEEK + FFKM |
| -PFA | 全 PFA 閥座，強腐蝕性氣體（Cl?、HBr） |
| -B | 帶入口 0.3 MPa 安全閥，防止過壓沖擊 MFC |
| -C | 出口壓力表 ?50 mm，0–0.4 MPa，面板安裝 |
| -SC | 表面電解拋光 Ra ≤ 0.25 µm，UHP 級 |
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